微細加工技術雜志介紹

《微細加工技術》創刊于1983年，是國家科委和國家新聞出版署批準，國內外公開發行的中央級重要科技期刊。主要反映半導體集成電路制造業的新工藝和新設備，是該領域科研工作者和工作報告的園地，為科研人員和我國信息產業化、現代化服務。是國家一級檢索刊物，已連續9年被美國工程信息公司Ei數據庫收錄，是《中國期刊網》、《中國學術期刊（光盤版）》、《中國學術期刊綜合評價數據庫》全文收錄用刊，是《中國科學引文數據庫》來源期刊。

主要欄目：綜述、電子束技術、離子束技術、光子束技術、薄膜技術、微機械加工技術、納米技術等。

本刊主要資助項目有：國家自然科學基金、國家高技術研究發展計劃、國家重點基礎研究發展計劃、國家教育部博士點基金、國家重點實驗室開放基金、山東省自然科學基金、中國科學院知識創新工程、中國博士后科學基金、上海市自然科學基金、中國科學院知識創新工程重要方向項目。

本刊主要資助課題有：國家自然科學基金(90307003)、山東省自然科學基金(Y2003G03)、國家重點基礎研究發展計劃(2003CB716204)、國家自然科學基金(59671051)、山東省科技攻關計劃(022090105)、國家高技術研究發展計劃(2004AA404260)、國家高技術研究發展計劃(2003AA404150)、國家自然科學基金(10572078)、國家自然科學基金(50275140)、國家高技術研究發展計劃(2003AA404140)。

微細加工技術雜志征稿要求

1.來稿一律文責自負。依照《著作權法》有關規定，本刊可對來稿做文字修改、刪節，凡有涉及稿件原意的修改，則提請作者考慮。

2.中文標題一般不超過20字，正文層次標題應簡短明確，可不編號；如需編號，各層次一律用大寫數字連續編號，依次為：一、（一）、1、（1）等。

3.作者簡介列于文末的六角括號（“〔〕”）內，其內容包括，作者姓名、工作單位、職務與職稱、學歷或學位、主要學術兼職，主要研究領域等。

4.正文所引文獻須在正文末尾列出。中文參考文獻在先，外文在后。中文按作者姓氏的漢語拼音字母順序排列，外文按作者姓氏的字母順序排列。每條文獻必須頂格書寫或打印，換行時前面空兩格。

5.注釋的方式，序號用①、②、③、④……的形式，注釋格式為，著者：文獻名，出版社名（或雜志名），出版年（或雜志期次），頁碼。

6.論文摘要盡量寫成報道性文摘，包括目的、方法、結果、結論4方面內容(200字左右)，應具有獨立性與自含性。

7.正文應層次清楚，方便閱讀，行文符合規范。正文中的各級標題分別為：“1”、“1.1”、“1.1.1”等。

8.公式中的外文字母的大小寫、正斜體、上下角標、數學符號、數字、公差值、絕對值和其他符號使用正確，書寫清楚。

9.來稿所關涉的立項課題及需要志謝的有關人員，應以題注的形式標在正文首頁下方。涉及的課題須注明課題名稱和項目編號。

10.姓名在文題下按序排列，多作者稿署名時須征得其他作者同意，排序應在投稿時確定。接錄用通知后不再改動。獲得各項課題資助的來稿將優先發表（需要在稿件首頁注明）。